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轮廓形状测量机C2700DX
高精度輪郭検出器にレーザ光回析スケールを搭載
指示精度:±(0.8+|2H|/100)μm、 分解能:0.025μm(全系列)实现。
衡量和评价是可能的精度高,轮廓精密部件。
■ 采用线性电机(**正在申请中)
■ 速度和低振动测量能够提供***的、高倍率可以衡量更加稳定。
■ 高速测量,显著提高生产力
■ 轮廓测量 *大20mm/s、速度*大60mm/s
测量效率与旧机型提高了10倍
型号 | SURFCOM 2700DX3/SD3 | |||||||||
-12 | -13 | -14 | -15 | -22 | -23 | -24 | 25 | |||
测量范围 | Z轴(纵方向) | 50mm | ||||||||
X轴(横方向) | 100mm | 200mm | ||||||||
精度 | Z轴指示精度(纵方向) | ±(0.8+│2H│/100)μm (H:测量高度 mm) | ||||||||
测定分辨率 | 只有0.025μm/全套 | |||||||||
X轴指示精度(横方向) | ±(1.0+1L/100)μm (L:测量长度 mm) | |||||||||
测定分辨率 | 0.016μm | |||||||||
直线度精度 | 1μm/100mm | 2μm/200mm | ||||||||
测量方式 | X轴(横方向) | 线性马达 | ||||||||
Z轴(纵方向) | 规模激光衍射 | |||||||||
速度 | 立柱上下移动速度(Z轴) | 3-10mm/s | ||||||||
速度(X轴) | 测量速度: 0.03-20mm/s; 移动速度: *大60mm/s | |||||||||
检出器 | 测针, 测力 | 交換式 30mN以下 、与收缩功能 | ||||||||
测针半径(测针材质) | 25μmR(24°超硬合金) 标准配件 | |||||||||
测定方向,姿势 | 前・后方向 、上・下 方向 、*大跟踪角:77° | |||||||||
测量范围 | 驱动部 | 100mm | 200mm | |||||||
上下 | 226mm | 426mm | 626mm | 226mm | 426mm | 626mm | ||||
操作台 | 大小 | 600*320mm | 1000*450mm | 600*320mm | 1000*450mm | |||||
允许装载质量 | 37kg | 28kg | 93kg | 84kg | 31kg | 22kg | 87kg | 78kg | ||
要素 | 尺寸 | 长 | 1250mm | 1650mm | 1250mm | 1650mm | ||||
宽 | 800mm | 900mm | 800mm | 900mm | ||||||
高 | 1480mm | 1680mm | 1880mm | 1480mm | 1680mm | 1880mm | ||||
重量 | 225kg | 235kg | 420kg | 430kg | 230kg | 240kg | 425kg | 435kg | ||
电压 | 单相AC100V±10% 50-60HZ/670VA |